সেমিকন্ডাক্টর উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস এয়ার সেপারেশন ইউনিট

মূল প্রযুক্তি

অতি-পরিষ্কার প্রিট্রিটমেন্ট:"তিন-পর্যায়ে পরিস্রাবণ + দ্বৈত শোষণ + অনুঘটক ডিঅক্সিজেনেশন" – ULPA ফিল্টার এবং উচ্চ-তাপমাত্রার আণবিক চালনী জল সরিয়ে দেয় (শিশির বিন্দু -90 ডিগ্রির চেয়ে কম বা সমান) এবং CO₂ ( 0.01ppm এর চেয়ে কম বা সমান) এবং ক্যাটল্যাডিয়ামের সমান 0.01ppm থেকে কম বা সমান) এবং 0.1ppm, পাতন জন্য ভিত্তি স্থাপন.
 

ক্রায়োজেনিক পাতন পরিশোধন:"মাল্টি-টাওয়ার ক্যাসকেড + উচ্চ-দক্ষতা প্যাকিং" – মূল টাওয়ারটি 5N বিশুদ্ধতায় প্রাথমিক বিভাজনের জন্য 316L ঢেউতোলা প্যাকিং ব্যবহার করে। 7N এর চূড়ান্ত নাইট্রোজেন বিশুদ্ধতা এবং 7.5N এর আর্গন বিশুদ্ধতা অর্জনের জন্য একটি নাইট্রোজেন/আর্গন পরিশোধন টাওয়ার যোগ করা হয়, ট্রেস অমেধ্য অপসারণ করে (0.05ppb এর চেয়ে কম বা সমান) মিথেন।

 

আল্ট্রা-ক্লিন পোস্ট-চিকিত্সা:গৌণ দূষণ রোধ করার জন্য একচেটিয়া পরিশোধন - PTFE ফিল্টারগুলি 0.01μm এর চেয়ে বড় বা সমান কণা ফিল্টার করে, আয়ন বিনিময় কলামগুলি ধাতব আয়নগুলিকে হ্রাস করে, এবং সক্রিয় কার্বন ক্যানিস্টারগুলি VOCগুলিকে 0.05ppb এর কম বা সমান নিয়ন্ত্রণ করে৷
 

স্থিতিশীল বিতরণ নিয়ন্ত্রণ:উচ্চ-নির্ভুলতা বন্ধ-লুপ সিস্টেম – সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড MFC, 316L EP-গ্রেড পাইপিং (Ra কম বা সমান 0.2μm), সম্পূর্ণ স্বয়ংক্রিয় ওয়েল্ডিং (যোগ্য হার 100%), SEMI F30 এর সাথে সঙ্গতিপূর্ণ।

 

কাজের নীতি

 

 

 

মাল্টি-পর্যায়ের যৌগিক প্রিট্রিটমেন্ট নীতি

"পরিস্রাবণ + শোষণ + অনুঘটক"-এর একটি তিন-পর্যায়ের সংযোগ: ULPA ফিল্টার এবং উচ্চ-তাপমাত্রার আণবিক চালনী জলকে সরিয়ে দেয় (শিশির বিন্দু -90 ডিগ্রির চেয়ে কম বা সমান) এবং CO₂ (0.01 পিপিএম-এর কম বা সমান), যেখানে প্যালাডিয়াম বা ক্যাটালাইসিস্টের সমান লেজেন 0.01 পিপিএম অপসারণ করে। পিপিএম, উচ্চ বিশুদ্ধতার ভিত্তি স্থাপন করে।

 

 

গভীর-ঠান্ডা পাতন এবং ভগ্নাংশ বিচ্ছেদ নীতি

অক্সিজেন, নাইট্রোজেন এবং আর্গনের মধ্যে স্ফুটনাঙ্কের পার্থক্যকে কাজে লাগিয়ে, একাধিক কলাম শুদ্ধকরণের জন্য সিরিজে ব্যবহৃত হয়: প্রধান কলাম, 316L প্যাকিং সহ, 5N-তে প্রাথমিক বিচ্ছেদ অর্জন করে; নাইট্রোজেন/আর্গন রিফাইনিং কলাম (-196 ডিগ্রী ) ট্রেস অমেধ্য অপসারণ করে, শেষ পর্যন্ত 7N এর নাইট্রোজেন ঘনত্ব এবং 7.5N এর আর্গন ঘনত্ব (মিথেন 0.05 পিপিবি এর চেয়ে কম বা সমান) অর্জন করে।

 

 

আল্ট্রা-ক্লিন পোস্ট-চিকিত্সা দূষণ প্রতিরোধ নীতি

মালিকানা পরিশোধন গৌণ দূষণ রোধ করে: PTFE ফিল্টার, আয়ন বিনিময় কলাম ধাতব আয়ন কমায় (0.01 ppb-এর কম বা সমান), এবং সক্রিয় কার্বন ক্যানিস্টারগুলি VOCs নিয়ন্ত্রণ করে 0.05 ppb-এর কম বা সমান, গ্যাসের পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করে।

 

 

উচ্চ-নির্ভুলতা বন্ধ-লুপ কনভেয়িং কন্ট্রোল নীতি

"উচ্চ-নির্ভুল নিয়ন্ত্রণ + ক্লিন পাইপিং": সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড MFC এবং 316L EP-গ্রেড পাইপিং (Ra কম বা 0.2μm এর সমান) সম্পূর্ণরূপে স্বয়ংক্রিয়ভাবে ঢালাই করা হয় যাতে স্থিতিশীল পরিবহন এবং অপরিমিত বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করা যায়।

 

1. এই সরঞ্জাম দ্বারা উত্পাদিত গ্যাস বিশুদ্ধতা বিভিন্ন সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির প্রয়োজনীয়তার সাথে খাপ খাইয়ে নেওয়া যেতে পারে?

আমরা নির্দিষ্ট প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে বিশুদ্ধতা সমাধান কাস্টমাইজ করতে পারেন. রিফাইনিং টাওয়ার প্রক্রিয়া এবং পোস্ট-প্রসেসিং মডিউলগুলি সামঞ্জস্য করে, আমরা স্থিতিশীল আউটপুট অর্জন করতে পারি যা 14nm প্রক্রিয়াগুলির প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে। উন্নত প্রক্রিয়াগুলির জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসগুলি, নীচেরগুলি সহ, সম্পূর্ণ সরঞ্জাম প্রতিস্থাপনের প্রয়োজন ছাড়াই ভবিষ্যতের প্রক্রিয়া আপগ্রেডের জন্য অপ্টিমাইজ করা যেতে পারে৷
 

2. কিভাবে আমরা যন্ত্রপাতি অপারেশন চলাকালীন সেকেন্ডারি গ্যাস দূষণ প্রতিরোধ করতে পারি? সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন অত্যন্ত উচ্চ পরিচ্ছন্নতার স্তরের দাবি করে।

এটি দুটি উপায়ে নিশ্চিত করা হয়: প্রথমত, একটি ডেডিকেটেড আল্ট্রা-ক্লিন পোস্ট-চিকিত্সা ব্যবস্থা অতি পরিস্রাবণ এবং আয়ন বিনিময়ের মতো প্রক্রিয়াগুলির মাধ্যমে ক্ষুদ্র কণা এবং ধাতব আয়নগুলিকে সরিয়ে দেয়৷ দ্বিতীয়ত, ডেলিভারি প্রক্রিয়া বিশেষায়িত পাইপিং উপকরণ এবং অপ্টিমাইজ করা ঢালাই কৌশল ব্যবহার করে পাইপিং দেয়ালে অপরিচ্ছন্নতা শোষণ কমিয়ে দেয়, এইভাবে পুরো প্রক্রিয়া জুড়ে সেকেন্ডারি গ্যাস দূষণ প্রতিরোধ করে।
 

3. সরঞ্জাম পরিচালনার সময়, গ্যাস প্রবাহ এবং চাপের ওঠানামা সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণকে প্রভাবিত করতে পারে। কিভাবে আমরা স্থিতিশীল পরামিতি নিশ্চিত করতে পারি?

একটি উচ্চ-নির্ভুলতা বন্ধ-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা, বাস্তব-সময়ের পরামিতি সমন্বয় এবং অপ্টিমাইজ করা পাইপিং ডিজাইনের জন্য একটি পেশাদার প্রবাহ নিয়ন্ত্রকের সাথে, কার্যকরভাবে প্রবাহ এবং চাপের ওঠানামা নিয়ন্ত্রণ করে, স্থিতিশীল গ্যাস সরবরাহের পরামিতিগুলি নিশ্চিত করে যা সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির যথার্থ প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।
 

4. সরঞ্জাম রক্ষণাবেক্ষণ জটিল? রক্ষণাবেক্ষণ কি সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন লাইনের ক্রমাগত অপারেশনকে প্রভাবিত করবে?

সরলীকৃত রক্ষণাবেক্ষণ প্রক্রিয়া অনলাইন মনিটরিংয়ের মাধ্যমে মূল উপাদান রক্ষণাবেক্ষণের প্রাথমিক সতর্কতার অনুমতি দেয়। সিস্টেমটি "অফলাইন প্রিফেব্রিকেশন + অনলাইন সংযোগ" সমর্থন করে। একটি ব্যাপক রক্ষণাবেক্ষণ মডেলের সাথে, সমালোচনামূলক রক্ষণাবেক্ষণের জন্য শুধুমাত্র সংক্ষিপ্ত ডাউনটাইম প্রয়োজন, এবং একটি অস্থায়ী গ্যাস সরবরাহ পরিকল্পনা তৈরি করা হবে যাতে উৎপাদন লাইনে ব্যাঘাত কম হয়।

5. যদি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব ভবিষ্যতে ক্ষমতা প্রসারিত করে, তাহলে বিদ্যমান সরঞ্জামগুলি কি প্রসারিত করা যেতে পারে? এই সম্প্রসারণ কি কঠিন?

সরঞ্জামগুলি সম্প্রসারণ বন্দরে-বিল্ট করেছে৷ ধারণক্ষমতা সম্প্রসারণের জন্য মূল পাতন ব্যবস্থাকে ভেঙে না দিয়ে শুধুমাত্র সংশ্লিষ্ট পরিশোধন মডিউল এবং কনভেয়িং উপাদান যোগ করা প্রয়োজন। বিস্তারিত প্রক্রিয়ার গণনা এবং প্রিফেব্রিকেশন সম্প্রসারণের আগে সম্পাদিত হয়, যার ফলে সাইটের নির্মাণের সময় একটি সংক্ষিপ্ত- এবং ন্যূনতম জটিলতা, ক্ষমতা বৃদ্ধির প্রয়োজনে দ্রুত অভিযোজন সক্ষম করে।

গরম ট্যাগ: অর্ধপরিবাহী উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস বায়ু পৃথকীকরণ ইউনিট, চীন সেমিকন্ডাক্টর উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস বায়ু পৃথকীকরণ ইউনিট, সরবরাহকারী, কারখানা